无量01-05
所属分类： 无量系列
关键字:
无量01-05
产品特点
掩模版/元器件/封装
为IC载板、品晶圆及系统封装、Glass Mask曝光制程提供LDI解决方案
全国服务热线：400-876-0066
产品详情
| 最大基板尺寸 | 8寸（可扩展至12寸） |
| 最小解析 | 1μm-5μm |
| 套刻精度 | 300nm-500nm |
| 最大产能 | 1000mm²/min |
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